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       對(duì)于體積小、放氣速率和漏氣速率都小的被檢件可直接與檢漏儀的外接法蘭連接進(jìn)行檢漏，不需要真空系統(tǒng)。對(duì)于漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連接時(shí)，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使檢漏儀無法工作。要在此種情況下進(jìn)行檢漏，只有調(diào)節(jié)節(jié)流閥，使之稍稍開啟，但這又會(huì)使反應(yīng)時(shí)間延長。此外，被檢件初次抽真空時(shí)，其中的水氣、油蒸氣等都可能污染檢漏儀，因此也需要有真空系統(tǒng)。

       真空系統(tǒng)由前級(jí)泵、次級(jí)泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級(jí)泵可用擴(kuò)散泵或羅茨泵(是否需要次級(jí)泵視具體情況而定)，前綴泵還是用氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵比較好。

       有些檢漏儀本身帶有一系列閥門，借助于這些閥門便可用檢漏儀的抽氣系統(tǒng)對(duì)小型的、放氣與漏氣也不大的被檢件完成預(yù)抽和檢漏工作，而不需另加真空系統(tǒng)。但是，從保持檢漏儀靈敏度的穩(wěn)定性的觀點(diǎn)來看，還是不要用儀器本身的真空泵進(jìn)行預(yù)抽比較好。些檢漏儀附有一個(gè)真空系統(tǒng)，使用時(shí)較為方便。